下面給大家介紹一例晶圓視覺檢測(cè)的方案,檢測(cè)內(nèi)容主要為破損,裂粒,氣孔,鎳層不良及尺寸。
晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

一:檢測(cè)內(nèi)容及要求

檢測(cè)工件面積:

長(zhǎng)1.44mm*寬1.43mm*高1.65mm的樣件的外觀、尺寸檢測(cè)

檢測(cè)內(nèi)容:破損,裂粒,氣孔,鎳層不良

1:底部正光檢測(cè)外觀

2:側(cè)面正光檢測(cè)外觀

3:側(cè)面正光檢測(cè)外觀

4:側(cè)面正光檢測(cè)外觀

5:側(cè)面正光檢測(cè)外觀

6:頂部正光檢測(cè)外觀

注明:以上檢測(cè)項(xiàng)目,均需要在影像下清晰可見才能檢測(cè)

檢測(cè)效率:每分鐘檢測(cè)數(shù)量250-350件(根據(jù)樣件送料速度)。

分工段進(jìn)行:按照檢測(cè)內(nèi)容細(xì)分檢測(cè)步驟.

二: 設(shè)備組成及主要機(jī)構(gòu)

整體構(gòu)成:尺寸:900*800*1850 mm

型號(hào):INTSOFT_T300

1:盈泰德科技視覺檢測(cè)軟件

2:工業(yè)電腦

3:顯示器19寸

4:工業(yè)相機(jī):6套,底部正光1個(gè),側(cè)面正光4個(gè),頂部正光1個(gè)

5:工業(yè)鏡頭: 6套FA工業(yè)鏡頭

6:專業(yè)玻璃盤

7:電磁閥

8:減速機(jī)

9:振動(dòng)柜

10:進(jìn)料設(shè)備(振動(dòng)盤、直振、控制器)

 

三:1底部正光檢測(cè)方式

底部檢測(cè)良品分析圖:OK

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:1底部正光檢測(cè)方式

底部檢測(cè)不良品分析圖(裂粒):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:1底部正光檢測(cè)方式

底部檢測(cè)不良品分析圖(鎳層不良):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:2側(cè)面正光檢測(cè)方式

側(cè)面檢測(cè)良品分析圖:OK

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:2側(cè)面正光檢測(cè)方式

側(cè)面檢測(cè)不良品分析圖(破損):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:2側(cè)面正光檢測(cè)方式

頂部檢測(cè)不良品分析圖(氣孔):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:3側(cè)面正光檢測(cè)方式

側(cè)面檢測(cè)良品分析圖:OK

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:3側(cè)面正光檢測(cè)方式

側(cè)面檢測(cè)不良品分析圖(破損):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

三:3側(cè)面正光檢測(cè)方式

頂部檢測(cè)不良品分析圖(氣孔):NG

晶圓外觀尺寸及瑕疵缺陷視覺檢測(cè)方案-機(jī)器視覺_視覺檢測(cè)設(shè)備_3D視覺_缺陷檢測(cè)

四.系統(tǒng)安裝要求:

設(shè)備放置的檢測(cè)空間:在流水線邊單獨(dú)安裝盈泰德視覺檢測(cè)系統(tǒng),需要保證有足夠的空間以安裝設(shè)備。

環(huán)境溫度:0-50攝氏度;

空氣濕度:90% RH以下;

電子干擾: 為設(shè)備提供電子干擾較小的地方。

電源: 交流220V,50Hz, 耗電<1KVA,氣壓0.35~0.7MPa

以上為晶圓檢測(cè)方案的介紹,如果你的工業(yè)生產(chǎn)線中也需要用到類似的視覺檢測(cè)技術(shù),那么不妨和我們盈泰德科技聊聊,我們會(huì)免費(fèi)從一個(gè)專業(yè)的角度來(lái)給你一個(gè)合適的方案,即使沒達(dá)成合作,我們也希望能多認(rèn)識(shí)一個(gè)朋友。