圖像去模糊處理通過增強圖像中的有用信息，改善圖像的視覺效果，從而顯著提高缺陷檢測的準確性。具體來說：

1. 增強缺陷特征：圖像去模糊處理能夠突出圖像中的關鍵特征，使原本不清晰的缺陷變得明顯。這對于后續(xù)的缺陷分析和識別至關重要。通過去模糊，可以更容易地辨別出產(chǎn)品表面的微小缺陷，如劃痕、裂紋等。

2. 提高圖像對比度：去模糊處理通常涉及對比度的調整，這有助于區(qū)分圖像中的目標與背景。在缺陷檢測中，高對比度意味著缺陷與周圍區(qū)域的差異更加明顯，從而提高了檢測的準確性。

3. 減少噪聲干擾：圖像去模糊處理還可以在一定程度上減少圖像中的噪聲干擾。通過濾除不必要的噪聲，可以使得缺陷信號更加純凈，有利于缺陷的準確檢測。

4. 適應多種缺陷類型：無論是斷線缺陷、缺陷還是相位缺陷，圖像去模糊處理都能有效提高其檢測效果。例如，在某項研究中，對4納米的斷線缺陷、10納米的方形缺陷和大小為50納米、中心相位為π/2的相位缺陷進行仿真，經(jīng)過去模糊處理后，三種缺陷信號對比度分別提高了52.03%、64.89%和44.96%。

圖像去模糊處理在改善缺陷檢測效果方面發(fā)揮著重要作用。它不僅能夠增強缺陷特征、提高圖像對比度，還能減少噪聲干擾，從而顯著提高缺陷檢測的準確性和效率。