光學(xué)顯微鏡在表面瑕疵檢測中的限制主要包括以下幾點：

1. 分辨率限制：光學(xué)顯微鏡的分辨率有限，這意味著它可能無法揭示樣品表面的所有細(xì)節(jié)，特別是那些非常小的瑕疵。阿貝極限將光學(xué)顯微鏡的分辨率限制在約200納米處，這也限制了其對更小瑕疵的檢測能力。

2. 焦距和范圍限制：光學(xué)顯微鏡的焦距有限，因此它不能用于觀察比預(yù)期更大或更小的物體，這可能導(dǎo)致無法完全看到樣品表面的瑕疵。焦距的限制也意味著觀察范圍有限，對于大型樣品，可能無法一次性觀察到整個表面的瑕疵情況。

3. 透明度和對比度問題：如果樣品透明度較高或?qū)Ρ榷容^低，光學(xué)顯微鏡可能無法產(chǎn)生足夠的對比度來分辨細(xì)小的瑕疵。這可能需要特殊的染色或鍍膜處理來提高樣品的對比度。

4. 深度限制：對于較厚的樣品，光學(xué)顯微鏡可能由于深度限制而無法在整個樣品內(nèi)部提供清晰的圖像，這可能會影響對樣品表面瑕疵的準(zhǔn)確檢測。

5. 樣品處理和準(zhǔn)備：光學(xué)顯微鏡觀察前需要對樣品進行特定的處理和準(zhǔn)備，如清潔、固定、切片和染色等。這些步驟可能會影響樣品表面的瑕疵，甚至可能引入新的瑕疵或改變原有瑕疵的形態(tài)。

光學(xué)顯微鏡在表面瑕疵檢測中受到分辨率、焦距、范圍、透明度和對比度、深度以及樣品處理和準(zhǔn)備等多種因素的限制。在實際應(yīng)用中，需要根據(jù)具體需求和樣品特性選擇合適的檢測方法和設(shè)備。